凈化車(chē)間材料為凈化車(chē)間墻，頂板一般為50mm厚夾芯彩鋼板制造，具有美觀、剛性強(qiáng)、保溫性能好、施工方便等特點(diǎn)?；⌒谓?、門(mén)、窗框一般采用特殊氧化鋁型材制造地面可采用環(huán)氧自流板地板或先進(jìn)耐磨塑料地板，有防靜電要求，可選擇防靜電型。

送回風(fēng)管道采用熱渡鋅板，具有良好的凈化保溫效果PF泡沫塑料板，美觀干凈，沖孔網(wǎng)板采用烤漆鋁板。

凈化車(chē)間的主要功能是控制產(chǎn)品（如硅芯片）接觸的大氣的清潔度和溫度和濕度，使產(chǎn)品能夠在良好的環(huán)境空間中生產(chǎn)和制造。這個(gè)空間我們稱之為凈化車(chē)間。按照國(guó)際慣例，無(wú)塵凈化水平主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定的。也就是說(shuō)，所謂無(wú)塵不是沒(méi)有灰塵，而是控制在非常微量的單位上。當(dāng)然，與我們常見(jiàn)的灰塵相比，本標(biāo)準(zhǔn)中符合粉塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒非常小，但對(duì)于光學(xué)結(jié)構(gòu)來(lái)說(shuō)，即使是一點(diǎn)灰塵也會(huì)產(chǎn)生很大的負(fù)面影響，因此無(wú)塵是光學(xué)結(jié)構(gòu)產(chǎn)品生產(chǎn)中不可避免的要求。

每立方米將小于0.3微米粒徑的粉塵數(shù)量控制在3500以下，達(dá)到國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)A級(jí)。目前，芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)粉塵的要求高于A級(jí)，主要用于一些芯片生產(chǎn)。μm以下粉塵數(shù)量嚴(yán)格控制在每立方米1000以內(nèi)，俗稱行業(yè)1K級(jí)別。

換氣次數(shù)：1萬(wàn)級(jí)≥15次；10000級(jí)≥20次；1000≥30次。

壓差：主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa

平均風(fēng)速：10級(jí)，100級(jí)0級(jí).3－0.5m/s；

溫度冬季>16℃；夏季<26℃；波動(dòng)±2℃。

濕度45－65%；GMP粉末車(chē)間濕度在50%左右為宜；電子車(chē)間濕度略高，以免產(chǎn)生靜電。

噪聲≤65dB（A）；

新風(fēng)補(bǔ)充量為總送風(fēng)量的10%-30%；

照度300LX

氣流→初效凈化→加濕段→加熱段→表冷段→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→高效凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌等顆?！仫L(fēng)百葉窗→重復(fù)上述過(guò)程的初始凈化可以達(dá)到凈化的目的。