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 歡迎光臨青島靈煜凈化環(huán)保設(shè)備工程有限公司官網(wǎng)！
 
    
 
    
 
    
 
 
    
 專業(yè)10年無塵凈化車間設(shè)計(jì)工程安裝
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    《微電子千級(jí)潔凈室振動(dòng)隔離技術(shù)深度解析》
    
 
     
 作者：
 點(diǎn)擊：225
 發(fā)布時(shí)間：2025-06-19 
 
    
 
    
 
 
    
 

    光刻機(jī)要求環(huán)境振動(dòng)速度≤1μm/s。某晶圓廠采用：①160mm厚混凝土浮筑地板（固有頻率≤8Hz）；②空氣彈簧隔震器（隔振效率≥95%）；③設(shè)備基座加裝惰性塊（質(zhì)量比1:1.5），終將振動(dòng)控制在0.7μm/s

     
    
 
 
 
    
 
    
 
    
 
    
 
    
        
        
    友情鏈接：青島網(wǎng)諾傳媒建站公司 沈陽(yáng)興利，深圳舊貨市場(chǎng)，南京教育，東和瑞星投資管理 ，
    畜禽養(yǎng)殖污染控制與資源化技術(shù)國(guó)家工程實(shí)驗(yàn)室，淄博變頻器

    
        
    
            
        
    

        
    
    

     



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